时间: 2025年3月10日（周一）上午10:00

所在: 校本部东区翔英大楼T516

讲座: 数字紫外光刻手艺及其在微/纳米光子器件、传感器方面应用

演讲者: 张阿平，，，教授，，，香港理工大学

演讲者简介：

张阿平，，，香港理工大学教授，，，于1997年和2000年划分获得浙江大学（ZJU）理学学士和硕士学位，，，并于2003年获香港理工大学博士学位。。。他在浙江大学开启学术生涯，，，2005年提升为光学工程学科副教授。。。2006-2008年时代，，，他曾任纽约州立大学布法罗分校（UB）激光、光子学与生物光子学研究所研究学者，，，并于2011年担当加州大学圣地亚哥分校（UCSD）纳米工程系会见学者。。。2012年，，，他加入香港理工大学电机工程学系（现称电机及电子工程学系）任副教授，，，自2020年起提升为教授。。。加入理大后，，，他于2019/20学年获工程学院揭晓"研究及学术活动小我私家优异奖"，，，并划分于2020年及2022年两度获得工程学院"研究资助成绩奖"。。。研究兴趣包括先进微纳制备工艺及光子器件等。。。

讲座摘要：

古板的纳米制造手艺，，，如电子束（EB）或聚焦离子束（FIB）光刻，，，通常本钱高昂且良品率较低。。。然而，，，新兴的光子/生物医学微器件需要无邪高效的微纳加工手艺，，，以实现对差别质料的高效处置惩罚。。。本次报告将重点先容香港理工大学本团队开发的先进光学微纳加工手艺，，，包括数字紫外光刻、细密光还原手艺及光学3D微打。。。，，并展示其在功效器件、传感器及生物芯片开发中的应用。。。

约请人：通讯与信息工程学院 庞拂飞教授

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