主讲人：Kjell Jeppson 教授 瑞典查尔莫斯理工大学 微手艺及纳米科学系，，，，，
时间：2013年3月20日10:50
所在：校本部乐乎楼思源厅
摘要：碳纳米管具有优异电学性能、热学性能和机械性能，，，，，能知足未来微系统集成手艺微型化、高可靠性、高散热需求的挑战，，，，，是理想微电子封装质料。。在3D集成和SIP封装手艺领域，，，，，运用化学气相沉积法生长制卑锸直碳纳米管阵列能用作互连、热界面质料及微型散热片。。本报告将先容一些笔直阵列碳纳米管制备要害手艺，，，，，包括碳纳米管生长手艺、致密手艺、转移手艺、堆叠手艺和电性能表征手艺，，，，，进而使得碳纳米管能在3D堆叠集成手艺中取代古板质料铜。。通过整合低温转移、致密化、平展化等手艺工艺，，，，，获得完整的碳纳米管TSV工艺流程。。现在的碳纳米管通孔电性能已大为改善，，，，，在与半导体工艺手艺兼容性方面具有优异应用远景。。
Kjell Jeppson 教授简介
Kjell Jeppson教授，，，，，IEEE终身会员，，，，，1977年在瑞典查尔莫斯理工大学获得固体电子学博士学位。。他曾恒久在加利福尼亚Rockwell International事情，，，，，1985年曾在英国Southampton University微电子中心事情。。1993至2000年担当查尔莫斯理工大学电子工程学院副主任，，，，，并认真EE项目刷新。。Jeppson教授现在是嵌入式电子系统设计硕士课程主任。。
Kjell Jeppson教授主要研究偏向包括碳纳米管TSV应用于3D芯片封装互连，，，，，MOS及双极器件建模，，，，，CMOS VLSI设计等。。Kjell O. Jeppson教授还从事过MNOS非易失性存储器表征、MOSFET晶体管模拟和参数提取、CMOS门延迟等偏向研究，，，，，著有《半导体器件》（瑞典语）。。同时，，，，，Kjell O. Jeppson教授照旧瑞典SoC手艺委员会委员、Norchip会员、EWME手艺委员会会员，，，，，担当微电子检测结构国际聚会（ICMTS）的手艺委员会主席和大会主席。。
机电工程与自动化学院
